大型工业用超纯水设备是应用在比较大型的工业生产中的水处理设备，该设备的出水量非常大，能够满足很多企业的生产需要。超纯水设备的净水流程有多种，虽然具体的工艺流程不一样，但是出水水质是没有太大变化的。客户在购买设备时，可以根据自己的实际情况，来选择适合的产品。本文简要介绍超纯水设备的各种工艺流程。

电导率测量主要用来检测水的纯净度，是检测水中离子杂质的一种有效、简 便和可靠方法。电导率测量仪分为现场测量、实验室测量、在线测量等几种类型。 但并不是每种仪表都适用于超纯水/高纯水电导率测量。

在理论上绝对纯净的水中只有两种离子，他们是水分解产生的H+和OH-。电导率是的0.055μS/cm 对应不含任何杂质的水样在25℃下的电导率。

超纯水的电导率由于很小，所以比较难以显示。因此往往用电阻率(MΩ.cm)来表示其纯净度。电阻率为电导率的倒数。

温度对电导率的影响

电导率在很大程度上受水样温度的影响，水样温度越高则离子活性越高，电导率越高。我们通常使用温度系数α 来表征电导率受温度的影响状况，不同介质的温度系数不同，超纯水与糖浆的温度系数较高，而低浓度酸碱溶液的温度系数相对较低。

实际上，介质的温度系数α 不是常数而是随温度的变化而变化。需要注意，任意温度时的温度系数总是以25℃参考温度为基准，也就是说α(T)并不是电导率—温度曲线在温度T 时的斜率。这一点比较容易引起混淆。

另外，温度系数α 除了与温度有关，还与介质浓度有关。

为了补偿温度对电导率测量的影响，电导率测量变送器必须具有温度自动补偿电路，这样仪表所显示的电导率为换算到25℃标准温度时的电导率。温度测量是通过传感器中的热敏电阻完成的。热敏电阻的精度越高则温度测量越准确，温度补偿后的电导率越准确。对于超纯水，强烈建议使用±0.1℃准确度的热敏电阻。

针对不同的被测介质，必须在变送器中使用与之匹配的温度补偿模式。对于中性盐溶液或酸碱溶液电导率测量来说，变送器一般使用线性温度补偿模式，即温度系数α 为常数;而对于超纯水电导率测量来说，则必须使用特殊的算法来进行温度补偿，原因主要有如下两点：(1)超纯水的温度系数α 非常大(在0℃时达到7.4[%/K])，而且随温度变化很大。(2)超纯水与其中杂质的温度特性有很大不同，所以必须分别考虑。

日常的电导率仪表，都具有针对常规测量的线性温度补偿，基本满足日常的电导率测量。但对于超纯水的电导率测量，由于温度系数α 随温度的变化，也有很大的变化，如果还是使用线性的温度补偿，温度的变化就会产生较大的测量偏差。所以需要针对的使用非线性温度补偿获得较好的测量。

超纯水设备的工艺流程

1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

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